1 / 32

Vežba 9 – Ispitivanje elektronima

Inženjerstvo površina. Vežba 9 – Ispitivanje elektronima. A leksandar Miletić Fakultet tehničkih nauka. Interakcija elektrona. Sekundarni elektroni. Sekundarni elektroni. Sekundarni elektroni. SEM – uticaj energije. Povratno rasejani elektroni. Povratno rasejani elektroni. X-zraci.

zora
Download Presentation

Vežba 9 – Ispitivanje elektronima

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Inženjerstvo površina Vežba 9 – Ispitivanje elektronima AleksandarMiletić Fakultet tehničkih nauka

  2. Interakcija elektrona

  3. Sekundarni elektroni

  4. Sekundarni elektroni

  5. Sekundarni elektroni

  6. SEM – uticaj energije

  7. Povratno rasejani elektroni

  8. Povratno rasejani elektroni

  9. X-zraci

  10. Ožeovi elektroni

  11. Transmisiona el. mikroskopija

  12. Transmisiona el. mikroskopija

  13. Transmisiona el. mikroskopija

  14. Transmisiona el. mikroskopija

  15. SEM-primeri TiAlN TiAlN/TiSiN

  16. SEM-TEM SEM TEM 100 nm

  17. TEM-primeri Svetlo polje - BF Svetlo polje - BF 20 nm 100 nm

  18. TEM-primeri Svetlo polje - BF Tamno polje - DF 20 nm 20 nm

  19. TEM-primeri Svetlo polje - BF HRTEM (200) (200) (200) (200) (200) (111) (111) (111) (200) 20 nm 5 nm

  20. EDS

  21. WDS

  22. EDS vs. WDS - brzina analize spektra • Prednost EDS-a je brza analiza gde se pritiskom na jedno dugme može analizirati kompletan spektar hemijskih elemenata. • Kod WDS se u datom trenutku mogu detektovati samo oni elementi za koje su podešeni spektrometri, analiza svih elemenata zahteva veliki broj podešavanja spektrometara.

  23. EDS vs. WDS - brzina brojanja i ponovljivost • Vreme potrebno za obradu jednog pulsa kod EDS analize iznosi oko 10-50µs dok kod WDS analize ono iznosi oko 0,5-1µs. • Postoje poneki EDS sistemi koji mogu „brojati“ brže ali na račun smanjenja energetske rezolucije.

  24. EDS vs. WDS - energetska rezolucija • Kod WDS analize preklapanje pikova sličnih energija znatno je manje izraženo nego kod EDS analize.

  25. EDS vs. WDS - prag detekcije • Većina elemenata periodnog sistema mogu se detektovati WDS analizom ako ih ima 0.01 težinskog%, a EDS analizom ako ih ima 0.1 težinskog%. • Pored ovoga lagani elementi (Be, B, C, N, O i F) mogu se bolje detektovati WDS analizom. Kod EDS-a za lakše elemente prag detekcije može pasti ispod 10.000÷100.000 ppm.

  26. EDS i WDS – mapiranje elemenata The X-ray mapping of the Ni-based alloy/AISI 4140 steel interface, which was obtained at 1000 °C for 0 min, shows BEI morphology and its dispersion of B, C, Si, Cr, Fe and Ni.

  27. EDS i WDS – mapiranje elemenata The X-ray mapping of the Ni-based alloy/AISI 4140 steel interface, which was obtained at 1180 °C for 0 min, shows BEI morphology and its dispersion of B, C, Si, Cr, Fe and Ni.

  28. EELS Pik nultog gubitka energije (eng. zero loss peak - ZL) Region velikog gubitka energije (eng. high loss region) Region malog gubitka energije (eng. low loss region)

  29. EELS - mapiranje Fast simultaneous access to multiple analytical TEM data streams with GIF Tridiem and STEMPack http://www.gatan.com/answers/answer1.php 09.01.2014.

  30. EELS - mapiranje

  31. EELS - mapiranje

  32. Hvala na pažnji! • Inženjerstvo površina

More Related