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專題討論

專題討論. 何謂無塵室 指導老師 : 蕭瑞陽 班級 : 自控四甲 姓名 : 吳昇翰 49612068 許學文 49612088. 無塵室定義 :. 可維持空氣中懸浮粒子在特定限制數量以內的房間內. 英制 : 1 立方英呎空間內的空氣中含有大於等於 0.5um 的灰塵顆粒數目 ISO : 標準是大於等於 0.5um 的塵埃顆粒在 1 立方公尺內之數目來定義無塵室之等級. 無塵室基本要求. 無塵室種類. 垂直室. 水平式. 亂流室. 無塵室四項原則. 汙染來源. 污染物的影響.

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Presentation Transcript

  1. 專題討論 何謂無塵室 • 指導老師 : 蕭瑞陽 • 班級 : 自控四甲 • 姓名 : 吳昇翰49612068 許學文49612088

  2. 無塵室定義: 可維持空氣中懸浮粒子在特定限制數量以內的房間內

  3. 英制 :1立方英呎空間內的空氣中含有大於等於0.5um的灰塵顆粒數目ISO: 標準是大於等於0.5um的塵埃顆粒在1立方公尺內之數目來定義無塵室之等級

  4. 無塵室基本要求

  5. 無塵室種類

  6. 垂直室

  7. 水平式

  8. 亂流室

  9. 無塵室四項原則

  10. 汙染來源

  11. 污染物的影響 污染物大於十分之一半導體元件之線寬，就會對產品產生影響

  12. 濾網結構：濾網通常事由直徑極小但粗細不等之玻璃纖維（Glass Fiber）任意交錯疊製

  13. 濾網原理

  14. 濾網種類

  15. 進入無塵室 出去無塵室

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