1 / 36

Overview

Overview. Microscope Optik v.s SEM Scanning Electron Microscopy (SEM) Pengenalan SEM; Interaksi Berkas elektron-Materi Preparasi Sample Kegunaan/Kelebihan SEM Beberapa contoh SEM image bentonit. Microscope Optics v.s SEM.

xue
Download Presentation

Overview

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Overview • Microscope Optik v.s SEM • Scanning Electron Microscopy (SEM) • Pengenalan SEM; • Interaksi Berkas elektron-Materi • Preparasi Sample • Kegunaan/Kelebihan SEM • Beberapa contoh SEM image bentonit

  2. Microscope Optics v.s SEM • Pemilihan Mikroscope Optik atau SEM/TEM sangat bergantung pada keperluan • Untuk mengamati objek dengan ukuran mikron dapat digunakan M-Optik • Untuk objek dengan skala sub micron (nm) dapat digunakan SEM-TEM

  3. Microscope Optics v.s SEM • Dapat dilengkapi dengan pemanas dan sensor temperature

  4. Contoh Penggunaan Mikroskop Optik; • Mobilitas Material pada Temp Sintering

  5. Pengantar: SEM • Contoh-contoh image SEM; Sample: Ceramic membrane Ceramic foam • Prinsip kerja

  6. Pengantar: SEM • Membrane SiC • Perbesaran 50x

  7. Pengantar: SEM • Membrane SiC • Perbesaran 200x

  8. Pengantar: SEM • Ceramic foam • Perbesaran 20x

  9. Pengantar: SEM • Ceramic foam • Perbesaran 100x

  10. Pengantar: SEM • Ceramic foam • Perbesaran 500x

  11. Pengantar: SEM • Ceramic foam • Perbesaran 2000x • Partikel dapat dilihat pada skala micron

  12. Pengantar: SEM • Ceramic foam • Perbesaran 5000x • Partikel dapat dilihat pada skala micron

  13. Pengantar: SEM • Ceramic foam • Perbesaran 20000x • Partikel dapat dilihat pada skala ratusan nm

  14. Pengantar: SEM • Aplikasi:mempelajari morphology (sifat permukaan) suatu material: • Ukuran partikel/Chanel/Pori • Bentuk partikel/Pori • Pada SEM yang dilengkapi dengan EDX dapat pula ditentukan komposisi internal dari partikel • Dasar: Interaksi berkas elektron-sample

  15. Pengantar: SEM • Microscop Elektron; Jenis microscop yang mengunakan berkas elektron untuk mendapatkan image sample • Scanning Electron Microscopy, Microscope Electron yang “memotret” material berdasarkan interaksi elektron dg permukaan material

  16. Elektron Hamburan Balik Sinar-X Elektron Sekunder Foton Elektron Auger Elektron Terdifraksi elastis Interaksi Berkas elektron dg Sample Berkas Elektron Primer SEM Elektron tertransmisi

  17. Interaksi Berkas elektron dg Sample Berkas Elektron Primer TEM Elektron Hamburan Balik Sinar-X Elektron Secunder Foton Elektron Auger Elektron Terdifraksi elastis Elektron tertransmisi

  18. Overview • Teknik Microscopy Elektron: • Scanning Electron Microscopy (SEM) Memanfaatkan hamburan balik elektron • Transmission Electron Microscopy (TEM) Memanfaatkan hamburan elastis elektron transmisi

  19. Prinsip Peralatan SEM/TEM Elelctron Gun Elelctron Gun Lensa Kondensor Coil Sample Lensa Objektif Sample Bidang Imaging

  20. Prinsip Peralatan SEM

  21. Gambar Teknis

  22. SEM

  23. Penyiapan Sampel SEM • Bersihkan sample • Keringkan; dg vakum kalau mungkin (Sample harus bebas dari H2O) • Tempatkan sample pada sample holder • Sputter dg Au atau Pt

  24. Penyiapan Sample • Ukuran sample holder: 12 mm atau 25 mm • Untuk menempelkan sample diperlukan double-sided tape konduktif • Area yang dipelajari sebaiknya diletakan pada 45 degree • Kontak area yang luas akan menguntungkan

  25. Sputtering Untuk sample yang tidak bersifat konduktif, perlu dilakukan pelapisan dg Au

  26. Cara Kerja Alat Sputering • Logam (Au) sbg katoda • Sample ditempatkan pada anode • Gas Argon sbg atmospere • Diterapkan beda potensial • Cathode mengionisasi atom-atom Ar menjadi kation dan elektron • Ion Argon ions terakselearsi ke arah katoda (Au)

  27. Cara Kerja Alat Sputering • Atom Au dan elektron terhempas karena tumbukan • Atom Au bertumbukan dengan ion Ar dan akhirnya melapisi sample dg ketebalan kira-kira 10-30 nm

  28. Advantage and Drawback • Kelebihan • Preparasi sample cepat dan sederhana • Ukuran sample yang relatif besar • Rentang perbesaran yang luas: 3X - 150,000X • Kekurangan • Dibanding TEM resolusinya lebih rendah • Digunakan vakum • Hanya permukaan yang teramati • Diperlukan coating dg Au

  29. ` SEM Bentonit sblm 2000 x

  30. Contoh Image SEM dari Bentonit SEM Bentonit sebelum 10000 x • SEM Image bentonit sebelum digunakan sebagai adsorbent • Struktur dasar bentonit • Diduga partikel komponen limbah

  31. Contoh Image SEM dari Bentonit SEM Bentonit sdh 2000 x

  32. Contoh Image SEM dari Bentonit • SEM Image bentonit setelah adsorpsi limbah • Struktur dasar bentonit • Diduga partikel komponen limbah SEM Bentonit sdh 7500 x

  33. Teknik Baru • SEM-EDX; SEM-Energy dispersive Dapat digunakan untuk analisa unsur Spot yang diamati • Environmental SEM Dapat digunakan untuk mengamatai perubahan morphologi pada berbagai temperatur

More Related