1 / 16

ТЕПЛОВЫЕ ПОТОКИ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ

ТЕПЛОВЫЕ ПОТОКИ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ В.Н. Харченко, Ю.П. Царьгородцев, Н.П. Полуэктов, И.И. Усатов Кафедра физики МГУЛ. СХЕМА УСТАНОВКИ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА С ДИСКОВОЙ МИШЕНЬЮ. 1. M. 3. 2. 3. 4. 1. M2.

wing-summers
Download Presentation

ТЕПЛОВЫЕ ПОТОКИ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. ТЕПЛОВЫЕ ПОТОКИ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ В.Н. Харченко, Ю.П. Царьгородцев, Н.П. Полуэктов, И.И. Усатов Кафедра физики МГУЛ

  2. СХЕМА УСТАНОВКИ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА С ДИСКОВОЙ МИШЕНЬЮ

  3. 1 M 3 2 3 4 1 M2 ТРЕНЧ МЕЖСЛОЙНОГО СОЕДИНЕНИЯ СБИС СТРУКТУРА ТРЕНЧА СБИС: 1- шины многоуровневой металлизации, 2 – барьерный слой, 3 – адгезионный слой, 4 – межуровневый диэлектрик; Металлизация тренчей нейтральными атомами меди в магнетронном разряде с дисковой мишенью

  4. СХЕМА УСТАНОВКИ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ

  5. МАГНЕТРОН С ПОЛЫМ КАТОДОМ. ФОТО УСТАНОВКИ

  6. Cu 300nm Al 1μm ПЛЕНКИ МЕТАЛЛА В ГЛУБОКИХ СУБМИКРОННЫХ КАНАВКАХ В МАГНЕТРОННОМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ. Xe+AL. Верх = 1140нм, стенка =346 нм, дно= 776 нм . р = 1 мТорр, UМИШ.=540 В, IМИШ=650 мА, Металлизация тренча 5х1 мкм2. Верх= 270 nm, низ = 220nm, стенки=100 nm. P = 5 Тор. W = 2.5 кВт. Степень ионизации потока 80%. Металлизация ступенчатого отверстия 1.5х0.4 мкм2. P = 5 мТор, W = 2 кВт.

  7. КОНСТРУКЦИЯ ДАТЧИКА ТЕПЛОВОГО ПОТОКА 1 – диск-калориметр; 2 – охранное кольцо; 3 – проволочки-растяжки (2 шт); 4– термопара; 5 – керамические втулки (3 шт).

  8. УРАВНЕНИЕ ТЕПЛОВОГО БАЛАНСА НЕСТАЦИОНАРНОГО ДАТЧИКА ТЕПЛОВОГО ПОТОКА c(Th) – удельная теплоемкость тела-калориметра; m, S– его масса и площадь соответственно; ε(Th) – степень черноты тела; Th– температура тела; Tc– температура водоохлаждаемой подложки; σ– постоянная Стефана-Больцмана; f(Th, Tc)– некоторая функция, описывающая кондуктивный теплообмен.

  9. ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ХОД НЕСТАЦИОНАРНОГО ДАТЧИКА. ДИАМЕТР КАТОДА 140 ММ. ДАТЧИК – НА РАССТОЯНИИ 20 СМ ОТ КАТОДА.

  10. НЕСТАЦИОНАРНЫЙ ДАТЧИК ТЕПЛОВОГО ПОТОКА 1 – собственно датчик; 2 – водоохлаждаемая подложка; 3 – диафрагма; 4 – тепловой экран; 5 – теплоизолятор.

  11. СТЕНД КАЛИБРОВКИ ДАТЧИКА ТЕПЛОВОГО ПОТОКА

  12. ИНТЕРФЕЙС ПРОГРАММЫ РЕГИСТРАЦИИ ТЕМПЕРАТУРНОГО ХОДА

  13. ИНТЕРФЕЙС ПРОГРАММЫ РАСЧЕТА ТЕПЛОВЫХ ПОТОКОВ

  14. ФАКТОРЫ ВКЛАДА В ТЕПЛОВОЙ ПОТОК • Электроны qe • Ионыqi • Нейтральные атомыqn • Рекомбинация ионовqrec • Конденсация металлаqcon • Излучениеqrad

  15. ТЕПЛОВЫЕ ПОТОКИ В МАГНЕТРОНЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ Зависимость теплового потока плазмы и его компонентов от мощности разряда при разных давлениях

  16. Cu 300nm Al 1μm Аспектное отношение = 5 Металлизация тренча 5х1 мкм2. Верх= 270 нм, дно = 220 нм, стенки=100нм. P = 10 мТорр. W = 3кВт. AR+Al. Верх= 410нм, дно = 120 нм (30%),стенка= 80нм. Ar, p=0.7 мТорр, Uмиш. = 400 В, Iмиш.=1.25 А,Wµ = 860 Вт. Ar+Cu. Xe+AL. Верх = 1140нм, стенка =346 нм, дно= 776 нм . р = 1 мТорр, UМИШ.=540 В, IМИШ=650 мА, Ar+Cu, Металлизация ступенчатого отверстия 1.5х0.4 мкм2. P = 5 мТорр, W = 2,6кВт.

More Related