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P lasma E nhanced materials processing and rarefied GAS dynamics U nified S imulation tools

PEGASUS 소개. P lasma E nhanced materials processing and rarefied GAS dynamics U nified S imulation tools. “ 플라즈마 / 기체상태 시뮬레이션” Software. ㈜ 지엔씨솔루션. 목 차. PEGASUS 제품 개요 제품군 제품 구성 제품 기능도 제품 ( 장치유형 , 해석목적에 따라 모듈 선택 ) 2 차원 플라즈마 시뮬레이션 모듈 표면과학계 MODULE 형상 시뮬레이터 (FPSM2D/FPSM3D)

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Presentation Transcript

  1. PEGASUS 소개 Plasma Enhanced materials processing and rarefied GAS dynamics Unified Simulation tools “플라즈마/기체상태 시뮬레이션” Software ㈜ 지엔씨솔루션

  2. 목 차 • PEGASUS 제품개요 • 제품군 • 제품 구성 • 제품 기능도 • 제품 (장치유형, 해석목적에 따라 모듈 선택) • 2차원 플라즈마 시뮬레이션 모듈 • 표면과학계 MODULE • 형상 시뮬레이터 (FPSM2D/FPSM3D) • PEGASUS 기상·표면과학계모듈 해석 예 • 특징 및 주요 화면 • 고객사

  3. ◈ PEGASUS 제품개요

  4. ◈ 제품군 • 플라즈마장치의 중성 가스/플라즈마의 Behavior 시뮬레이션 • 진공용기의 희박기체 Dynamics behavior 시뮬레이션 • PVD, CVD와 dry etching에 의한 표면 프로파일 시뮬레이션

  5. ◈ 제품 구성도 GUIM ２차원 플라즈마 하전입자 운동해석 ３차원 희박기체 운동해석 気相MODULE 기체반응 Database MSSM 정자장해석 RGS3D PHM PIC-MCCM 플라즈마 운동해석 형상(Feature profile) 시뮬레이터 FPSM2D/FPSM3D NMEM DSMCM 기체 운동해석 ３차원MAGNETRON 스패터장치 플라즈마 해석 IMCSM （ IEDF해석） 표면과학계모듈 MSSM3D 스패터입자 박막분포해석 이온 주입 해석 입사이온 IEDF,IADF 해석 SASAMAL PIC-MCCM3D SMCSM SPUTSM DSMCM

  6. ◈ 제품 기능

  7. ◈ 제품 (장치유형, 해석목적에 따라 모듈 선택) 플라즈마해석 중성기체해석 정자장 희박기체 예 아니오 MSSM No Yes 장치유형 NMEM CCP장치 ICP장치 2D,3D MAGENETRON 스패터 장치 2D GAS압력 PHM PIC-MCCM DSMCM 낮음 높음 3D 입자 종류 많다 적다 PHM RGS3D NMEM DSMCM NMEM

  8. ◈ 2차원 플라즈마 시뮬레이션 모듈

  9. ◈ 가스상태 원자/분자 반응 데이터베이스

  10. ◈ 표면과학계 MODULE 이온주입해석 모듈 Sheath해석 모듈 스패터 해석 모듈 SASAMAL SPUTSM SMCSM 선량 에너지 해석 SPUTTERING율 SPATTER입자각도・ 에너지 분포 입사 이온 벌크 플라즈마 S H E A T H 영 역 도달한 하전입자의 에너지・각도분포 비정질(非晶質) TARGET 입사이온 Depth profile 조성분포의 변화 기판(基板) 아모루후의 스타ー입수 ※ 비정질(非晶質, amorphous) 원자 배열이 불규칙적이고, 비결정질인 고체 물질.

  11. ◈ 형상 시뮬레이터 (FPSM2D/FPSM3D) • 목적：PVD、플라즈마CVD、드라이에칭 같은 프로세스에 기판・퇴적막형의 경과 변화 • 해석차원, 해석대상 : 2차원 데카르트 좌표, 2차원 TRENCH(참호)형상, 3차원 데카르트 좌표, 3차원 TRENCH(참호), 홀 형상 • 계산방법：MC法(몬테카를로) • 형상표현：Cell모델 • 반사・반응 ：입사각도, 입사 에너지의 의존 • 입사입자정보：PEGASUS기상・표면과학 모듈로부터의 출력파일 혹은 사용자의 입력사양을 지정

  12. ◈ PEGASUS 기상·표면과학계모듈 해석 예 • CCP장치 플라즈마 시뮬레이션 (PIC-MCCM + NMEM) • ICP装置플라즈마 시뮬레이션(PHM + DSMCM) • 마그네트론 스패터 장치 플라즈마 시뮬레이션(MSSM + PIC-MCCM) • 마그네트론 스패터 장치 스패터 입자운동 시뮬레이션 (MSSM + PIC-MCCM + SPUTSM + DSMCM) • 마이크로 플라즈마의 시뮬레이션 (PHM)

  13. ◈ 특징 및 주요 화면 LED등 하이테크 제품 생산 진공증착공정 시뮬레이션 Global top 중성/희박/플라즈마 상태 시뮬레이션 2D/3D 시뮬레이션, 손쉬운 사용자 GUI OLED증착공정 시뮬레이션 결과 Flux분포 결과 밀도 자장 Ar+ Flux Ar+ Flux 밀도 변화

  14. ◈고객사

  15. ◈ Trial 절차 ※ Technical service, Training service을 별도로 원하는 경우 일본현지 기술자 내방 (유료)

  16. ◈공급사 소개 주식회사 지엔씨솔루션 2000년 7월 설립. 컨설팅 및 솔루션 전문회사 2009년 PEGASUS사 한국대리점 Http://www.gncsolution.co.kr 한국대리점 본 사 PEGASUS 주식회사 일본 이또쭈상사의 Scientific Software전문 계열사에서 독립하여 2002년 5월 PEGASUS사 설립 http://www.psinc.co.jp/

  17. 감사합니다. 010-8226-7470, bipasori@gmail.com

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