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光刻机 / 紫外曝光机 (Mask Aligner) 匀胶机 / 旋涂仪 (Spin coater)

公 司 介 绍. 光刻机 / 紫外曝光机 (Mask Aligner) 匀胶机 / 旋涂仪 (Spin coater). MIDAS Systems Co., Ltd. 介绍. 槪要. MIDAS SYSYEM 主要研发 和生 产光罩 光刻机 / 紫外曝光机 (Mask Aligner) 和匀胶机 (Spin Coater) 设备。 应用领域涉及： 半导体、 平板显示 、 MEMS 、生物元器件、纳米技术 等 光刻机 / 紫外曝光机 是 我司在 韩国首度研发和商品化的产品，目前在不懈 地 开发完善中，为企业 垫 定了坚实 的技术 基础。

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光刻机 / 紫外曝光机 (Mask Aligner) 匀胶机 / 旋涂仪 (Spin coater)

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Presentation Transcript

  1. 公 司 介 绍 光刻机/紫外曝光机 (Mask Aligner) 匀胶机 /旋涂仪(Spin coater) MIDAS Systems Co., Ltd.

  2. 介绍 槪要 MIDAS SYSYEM主要研发和生产光罩光刻机/紫外曝光机 (Mask Aligner)和匀胶机(Spin Coater)设备。 应用领域涉及：半导体、平板显示、MEMS、生物元器件、纳米技术等 光刻机/紫外曝光机是我司在韩国首度研发和商品化的产品，目前在不懈地开发完善中，为企业垫定了坚实的技术基础。 产品遍及半导体研究和生产、 平板显示研究和生产、MEMS工序研究及MEMS应用商品生产、生物芯片研究及纳米技术研究领域。

  3. 企业槪要 公司名 Midas System Co.,Ltd 总经理 Lee Gon Cheol 建立时间 1998. 10. 18 地址 589, Yongsan-dong, Yuseong-gu, Daejeon, Korea 电话 +82 42 930 7620 网页 http://www.midas-system.com http://www.aligner.co.kr

  4. 企业历史 稳定&腾飞期 2011.07 500mm大型光罩对准曝光机 研发交货 2011.07 取得MDA-60MS CE认证 2011.10 含LED光源冷却模块的曝光机 取得专利(第10- 1076193号)专利厅 2011.12 搭载紫外线LED模块的光罩 对准曝光机申请专利 2012.06 开发MDA-400LJ、MDA-150新型号。 发展期 2005.09 取得装有空气轴承的光罩对准曝 光机之实用创新设计(第2005-0021754号)专利厅 2005.10 取得Backside光罩对准曝光机专 利(第2004-0007190号)专利厅 2005.11 注册高度技术同伴项目风险企业 (第051524032-2-0336号)中小企业厅 2006.09 认定为技术革新型中小企业 (INNO-BIZ A级)中小企业厅长(第6051-1929号) 2006.12 取得ISO 9001:2001 / KS A 9001:2001半导体设备和产业设备设计、制造、开发Certificate 2008.02. 研发提供200/300mm Wafer/probe card用光刻机/紫外曝光机 2009.05 取得MDA-400M CE认证 2010. 06 “自动对准曝光机操作/控制程序”注册程序 • 建立初期 • 1998.10 MIDAS SYSYEM单独成立 • 1999.05 半导体电极型传感器制造技术 • 之专利技术转让 • 09 取得企业附设研究所认证 • 2001.06 韩国首度研发和商品化Wafer用 • 光刻机/紫外曝光机 • 2002.12 注册研发投资风险企业 • 2004.07 位于大德科技谷的公司办公楼兼 • 工厂新建竣工

  5. 组织图 CEO 常务董事 质量经营 技术总部 管理部 营销部 设计 会计 研究所 韩国营销 生产 人事、总务 国外营销 顾客支持 采购

  6. 光刻机/紫外曝光机 光刻机/紫外曝光机是执行半导体显示屏等工艺中的光刻工艺系统,目的是在晶圆片上形成多种类物质的图案. 具体体现的系统是在样品晶圆片上涂抹光刻胶后利用带图案的掩膜板,当光透过掩膜板照射到光刻胶上时，光刻胶会发生反应.之后进行显影和刻蚀最终得到想要图案.

  7. 光刻机/紫外曝光机 型号 MDA-80SA/12SA MDA-60MS MDA-400S MDA-400M 手动对准 & 手动曝光 手动对准 & 自动曝光 半自动对准 & 自动曝光 手动对准 & 手动曝光

  8. 光刻机/紫外曝光机 技术规格 模型 项目

  9. 全自动光刻机/紫外曝光机 型号 MDA-12FA MDA-40FA 全自动对准 & 自动曝光 全自动对准 & 自动曝光

  10. 光刻机/紫外曝光机 技术规格 模型 项目

  11. 光刻机/紫外曝光机 软件 • 简单的操作模式 • 图像抓取和保存 • 数据传输 • 操作用个人电脑 • 存储 能力 : ≥ 100 Recipes • 数据记录: 历史管理 • 全屏和分屏 设定 : 保养模式 手动 操作模式 半自动 : PC控制

  12. 匀胶机 /旋涂仪 匀胶机是光刻工艺制作薄膜方法中使用最广泛的设备 在需要涂抹的样品表面滴上光刻胶,在离心力的作用下，样品表面旋涂，制作出均匀的薄膜. 为了得到均匀的薄膜,根据光刻胶的粘稠度使用正确的配方旋涂.(如许多步骤的转速与加速度设定)

  13. 匀胶机 /旋涂仪 型号 SPIN-5000A SPIN-3000T Spin-3000D/A Spin-1200D/T 手动匀胶 &单片衬底 手动匀胶 &单片衬底 大尺寸匀胶 & 定制 手动匀胶 &单片衬底

  14. 匀胶机 /旋涂仪 型号 模型 项目

  15. 光刻结果 AZ 4620 n-Pad TCO Electrode forming process MQW p-GaN n-GaN Stacked Chip THB151N Packaging process interposer bump Board Actuator SU-8 MEMS process

  16. 光刻结果 FEOL + MOL Photolithography TSV Etch/Clean TSV Seed/Fill CMP TSV Process

  17. THANK YOU

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