1 / 14

La fabrication des masques photographiques

VI-2. La fabrication des masques photographiques. Photomask manufacturing. Phototraceur Vectoriel A balayage Films Constitution Développement Stabilité Environnement. Photoplotter Vectorial Raster scan Films Constitution Processing Stability Environment.

olaf
Download Presentation

La fabrication des masques photographiques

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. VI-2 La fabrication des masques photographiques Photomask manufacturing VI-2 Photo-traçage

  2. Phototraceur Vectoriel A balayage Films Constitution Développement Stabilité Environnement Photoplotter Vectorial Raster scan Films Constitution Processing Stability Environment La fabrication de masques photoPhotomask manufacturing VI-2 Photo-traçage

  3. Lampe Lamp Roue d ’ouvertures Aperture wheel Obturateur Shutter Objectif Lens Table mobile Moving Table Film Film X Y Phototraceur vectorielVectorial photoplotter VI-2 Photo-traçage

  4. Tracé vectorielVectorial drawing P3 Flash d ’une pastille Flashed pad Tracé d ’une piste Drawing of a trace P1 P2 VI-2 Photo-traçage

  5. Phototraceur à balayage laserLaserraster scan photoplotter Tambour tournant Rotating drum Film Film Laser laser Commande électronique Electronic control Miroir pivotant Swivel miror VI-2 Photo-traçage

  6. Tracé par balayageRaster scan drawing Pixel laser Laser pixel Image mode point Bitmap picture 2000 dpi = 12,7µm 4000 dpi = 6,35µm 8000 dpi = 3,17µm Résolution traceur Plotter resolution VI-2 Photo-traçage

  7. Lumière 2 Ag + Br2 2 Ag Br Film photographiquePhotographic film Emulsion photosensible Photosensitive emulsion Support polyester 0,1-0,18 mm 0.1-0.18 mm Polyester base Couche anti-reflet Anti-reflection layer VI-2 Photo-traçage

  8. Développement Development Fixage Fixing Lavage Washing Séchage Drying DéveloppementProcessing L ’image apparaît The picture appear Révélateur Developer Fixateur Fixer Le filmdevient transparent The film become transparent Eau water Nettoyage du film Cleaning of the film Air Air VI-2 Photo-traçage

  9. Stabilité dimensionnelleDimensional stability En fonction de la température Versus temperature D (µm) = 22 x L (m) x T (°C) Exemple L = 600 mm, T = 5°c D = 22 x 0,6 x 5 = 66 µm VI-2 Photo-traçage

  10. Stabilité dimensionnelleDimensional stability En fonction de l ’humidité relative Versus relative humidity Épaisseur du film 0,1mm D (µm) = 11 x L (m) x Hr (°C) Exemple L = 600 mm, Hr = 20% D = 11 x 0,6 x 20 = 132 µm VI-2 Photo-traçage

  11. Stabilité dimensionnelleDimensional stability En fonction de l ’humidité relative Versus relative humidity Épaisseur du film 0,18 mm D (µm) = 9 x L (m) x Hr (°C) Exemple L = 600 mm, Hr = 20% D = 9 x 0,6 x 20 = 108 µm VI-2 Photo-traçage

  12. Hygrométrie % Hr 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 -10 °C 30 °C 75% Hr Zone de déformation réversible 30% Hr Tempérarure °C -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50 60 Stabilité dimensionnelleDimensional stability Réversibilité Reversibility VI-2 Photo-traçage

  13. Délai (approximatif) nécessaire à l ’adaptation des dimensions d ’un film à un changement soudain de l ’humidité relative Epaisseur du film (mm) Adaptation dimensionnelle 40% 60% 80% 100% 0,100 0,180 5 mn 15 mn 60 mn 300 mn 20 mn 60 mn 180 mn 750 mn Stabilité dimensionnelleDimensional stability Acclimatation Acclimatization VI-2 Photo-traçage

  14. EnvironnementEnvironment • Régulation de Température • Ex. 20  0,5 °C • Humidité relative • Ex. 50  5 % Hr • Salle blanche. • Ex. Classe 100 Norme US • ( Nombre de particules > 0,5 µm • par pied cube ) • Temperature régulation • Ex. 20  0,5 °C • Relative humidity • Ex. 50  5 % Hr • Clean room. • Ex. Class 100 US Standard • ( Number of particles > 0.5 µm • per square foot ) VI-2 Photo-traçage

More Related