How To Use SEM

1. How To Use SEM 2007March Kojima 付属の説明書もしっかり読むこと 細かい点はDVDを参照してください。

2. 日常点検事項 １ 窒素ボンベの圧力 2次圧= 0.35~0.5 MPa 冷却装置　水温= 20±5 ℃ 水の量は大丈夫？ 冷却装置はB電源をONにしたとき（観察時）に動作する。 UPS装置　

3. 日常点検事項 2　（真空系） バルブの状態（通常） ペニングゲージ = Low 側で振り切れ イオンポンプ GUN= 2E-8 Pa INT = 4E-8Pa

4. スイッチ類の場所 STIGMATOR FREEZE 走査速度 FOCUS 二次電子像 明るさコントラスト 倍率調整 PROBE CURRENT(CL)

5. スイッチ類の場所 フラッシングSW COMPTOPO 明るさコントラスト ALIGNMENT (X,Y)つまみ SEI COMP TOPO 選択 引出電流リセット WOBBLER 加速電圧SW

6. スイッチ類の場所 可動絞りノブ X イオンポンプ Y 試料交換棒

7. スイッチ類の場所 Xステージの粗動つまみ X,Yステージ　（微動）

8. スイッチ類の場所 V7CLOSE 明　強制CLOSE 暗　ACCVと連動 B電源スイッチ。 上がON（キースイッチが連動） 下がOFF（真空系だけ維持）

9. 電源を入れるとき B電源スイッチを上に （電源を切るときは下げる） キースイッチをSTARTへ回して手を離す

10. 基本画面 キーボードのPF1を押すとこの画面に戻る 加速電圧が切れているのを確認する。

11. 観察準備 キーボードのPF2を押して設定画面を表示 テンキー1,2,3,4押すとEOS-1~4がそれぞれ表示される。

12. 試料交換その前に... ①ステージを必ずX = 1.20, Y= 1.20　に戻す。 ②　加速電圧が切れているのを確認する。 ③V7が閉じていることを確認する。 ④　傾斜がかかっていないことを確認。

13. 試料交換　試料を出す ①　試料交換棒を止まるところまで引っ張る。 ②　手前に止まるところまで回転させてさらに引き抜く ③　交換棒をホルダに置く

14. 試料の交換 ①　ストッパーを外して試料ホルダを取り出す ②　試料ホルダを入れてストッパーを押して固定する

15. 試料の挿入 ①　試料ホルダがしっかり固定されているか確認。 ②　交換棒をガイドに合わせて止まるところまで挿入する。 ③　ロータリポンプでの粗引きが開始（EVACランプ点灯） ④　EVACランプが消灯するのを確認して棒を奥に回転させ　　　てさらに止まるところまで挿入する。 ⑤　ペニングゲージで圧力が良くなる（1 E-4Pa)まで待つ

16. 二次電子像の観察 ①　加速電圧（0.5 kV~15 kV)を設定入力する。 　カーソルを合わせてINSキーで入力 ②ACC ACCELボタンをONにして加速電圧を印加す　　る。電子銃からの引き出し電流が8.0μAになるまで　　待つ。（EXTRACT V　＝7~8 kVでGUN交換） ③V7CLOSEを解除して（暗灯）像を出す。 ④FOCUSを合わせて像を観察する（続いて軸調整）。

17. 軸調整（３項目）ゴミみたいな目標物を見つける。軸調整（３項目）ゴミみたいな目標物を見つける。 ①　倍率×5000でGUN Alignment CL(Probe Current)=8→4にした時に像の動きが最小となるようにGun Alignment（X,Y)で動いた分だけ戻す。この作業を繰り返して動きを最小にする。 ②　倍率×10000でOL-AP調整 CL =5にしてEOS-2画面でHRをALCL2にする。ここで像が上下左右に移動したら移動が最小となるように可動絞りX、Yノブで調整する。終わったらHRに戻す。 ③CL調整 EOS-1でGUNをCLにする。WOBBLERボタンを押して像の移動が最小となるようにGun Alignment (X,Y)で調整する。

18. FOCUS合わせ ①FOCUS調整 前項の軸調整が済んだらFOCUSを合わせる。 ② その状態でさらにSTIGMATOR（X,Y)で最もFOCUSが合うところを探す。 以上で調整終わり、XYステージで目的の場所を観察する。 さらに高倍率で見たいときでFOCUSだけではきれいな像が見られないときはその倍率で前項の軸調整(3項目）を再び行う。

19. 像の撮影 ①　軸調整、FOCUS合わせは終了しているとして ②SCAN SPEEDをSLOWにして画像を撮る。（右画面） 　　撮り終えたらFREEZEボタンで像を止める。 　　この画像をキャプチャする。

20. 反射電子像の観察準備 二次電子像で前項までの各調整が終わっている状態で行うこと。加速電圧は5 kV以上 ①　傾斜の確認（超重要！！） 傾斜がかかっていると検出器と衝突するので必ず傾斜を0°に戻す。 ②V7CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。 ③　反射電子検出器の挿入 検出器のロックを解除（奥側へ回転）して鏡筒内部へ挿入する。このとき真空で入っていくので徐々に入れる。 ④V7CLOSEボタンを暗灯させてバルブを開ける。

21. 反射電子像の観察 ①　操作パネルのCOMPO、TOPOボタンを押して観察。 ②SCAN SPEEDはSLOWで行う。（信号量が少ないから） ③　反射電子像用のCONTRAST BRIGHT　調整つまみで明るさ、コントラストを調整する。 第二CRT（右モニタ）には設定画面が移りこんでいるのでキーボードのPF1ボタンで消すことも可能。

22. 反射像の終了 反射像を使わないとき、観察を終了する前には必ず検出器を抜く！！ ①V7 CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。 ②　検出器を止まるところまで引っ張る。 ③　手前に回転させてロックをかける

23. 観察を終了するとき ①　反射電子検出器が抜いてあることを必ず確認。 ②ACC VOLTAGEボタンを押して（消灯）加速電圧を切る。 ③V7CLOSEボタンを明灯させてバルブが閉まっていること　　　　を確認する。 ④　キーボードのPF1を押して基本画面に戻る。 ⑤B電源スイッチを下に下ろして真空系だけ動かしたまま電源を切る。（キースイッチはONのままで良い） ⑥　約5分後に冷却水装置が停止する。

24. 帰るときは安全確認 点検事項を確認する。さらに、 １．反射電子検出器は抜いてる？ ２．V7はCLOSEか？ ３．ペニングゲージはOKか？ ４．GUN、INTの真空度はOK? ５．水漏れは無いか？

25. 日々のメンテナンス ・150時間に1回　強制フラッシング ・冷却水の水量チェック ・１年に１回　ターボ分子ポンプのバッテリー交換（JEOLに注文） ・１年に１回　イオンポンプ用非常電源バッ テリー（自動車用で良い、24V36Ah)交換 ・ロータリポンプ用油チェック（JEOLに注文）

26. 緊急時は 　・　加速電圧を切る。 　・　V7CLOSEでバルブを閉める。 　・　キースイッチをOFFにして装置全体を止める。 日本電子総合コールセンターへ 0120-134-788 装置名　JSM-6000FS 型名　　　162003-0005