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EMAX-Evolution の使用方法 簡易版 PowerPoint PPT Presentation


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EMAX-Evolution の使用方法 簡易版. 精密分析室. 2014/5/21. 目次. 起動 -4. 初期画面 -5. 検出器の挿入 -6. 起動の前 に -3. 分析方法 の選択 -7. マッピング - 8. マップデータの収集 -9. マップ作成 -10. マップ 像 の色変更 -11. 定量結果の表示 -12. マッピングライン系列の変更 -13. 分析結果 を確認したいとき -1 4. データの保存方法 -1 5. 終わり方 - 1 6. 起動の前に. 目的のSEM像を出しておき SEMのWD Zを 15.0mm にする.

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EMAX-Evolution の使用方法 簡易版

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Presentation Transcript


EMAX-Evolutionの使用方法簡易版

精密分析室

2014/5/21


目次

起動-4

初期画面-5

検出器の挿入-6

起動の前に-3

分析方法の選択-7

マッピング-8

マップデータの収集-9

マップ作成-10

マップ像の色変更-11

定量結果の表示-12

マッピングライン系列の変更-13

分析結果を確認したいとき-14

データの保存方法-15

終わり方-16


起動の前に

目的のSEM像を出しておき

SEMのWD Zを15.0mmにする

目次に戻る


起動

           電源SWを入れる

EMAXevolutionを起動する

新しいプロジェクトの作成でファイル名

データの保存先 C:\Users\Public\Documents\(研究室)\(個人名)

を指定する

目次に戻る


初期画面

ディフォルトで炭素になっているので金に変更する

目次に戻る


検出器の挿入

ここをクリック

測定位置にする

目次に戻る


分析方法を選択する

アナライザ

ポイント&ID

ラインスキャン

マップ

最適化

目次に戻る


マッピングをするとき

画像の取り込みを選択し 開始をクリックすると画像が取り込まれる

目次に戻る


マップデータの収集

開始でマッピングが始まる 適当なところで停止

目次に戻る


マップ作成

目次に戻る


マップ像の色変更

マップ像の大きさ

が変わる

色を選択

目次に戻る


マッピングライン系列の変更

周期律表で選択した元素の詳細をクリックする

ライン系列を選ぶ

目次に戻る


定量結果の表示

アナライザ

ポイント&ID

ラインスキャン

マップ

最適化

目次に戻る


分析結果を確認したいとき

データビューより目的の分析領域をクリックすると

結果が表示される

もし表示されないときは

表示/データビューにチェックする

目次に戻る


データの保存方法

レポートテンプレートを表示させる

分類から選択

WARDファイルの見本が表示される

目次に戻る


終わり方

1.プロジェクトを保存する

2.検出器を戻す

どちらかの方法で

3.SEMのWDを8mmに戻す

4.Windowsを終了したら

電源SWをOFF

目次に戻る


用語集

エスケープピーク処理

 エスケープピークとは検出器に入射したX線がある定まった確率で1.74eVだけ低く検出されるピークです。正しい特性X線ピーク強度を求めるためには、エスケープピークを除いた後、本来のエネルギー位置(1.74eVエネルギーの高いところ)に加える必要がある

ピーク分離

 特性X線の重なりを分離する処理「オーバーラップファクタ法」と「リファレンススペクトル法」がある

ストイキオメトリ

 試料が酸化物や窒化物などの化合物である場合に設定します。ストイキオメトリで分析する元素と他の元素の化合比を「化学式の変更」から設定します。

バックグラウンド減算

 正しい特性X線ピークの強度を求めるためには、バックグラウンドの成分の減算を「クレイマー法」を用いて行います

ZAF補正計算

 スペクトル処理で求めた各元素の特性X線強度を補正計算して濃度を求める処理で、「スタンダード法」と「スタンダード・レス」法があります

デッドタイム

 検出器の不感時間、検出器に信号が入って処理する時間がかかるため数え落としが生じる。X線の計数率が高くなるとデッドドタイムが大きくなる

コンタミネーション

 電子線を当てることによって鏡体中の炭化水素系の残量ガスが観察面に付着し汚れとなって見える

エミッション電流

 電子銃から放出される電子電流この一部が絞りを通ってプローブ電流になる

ガンマ補正

 画像信号の増幅器では、入力信号と出力信号は直線関係にある。これを曲線にすることで画像の明るい部分を抑えながら暗

 い部分を増幅したり、暗い部分を抑え ながら明るい部分を増幅することができる。これをガンマ補正と言う。


コア・ロス電子

 試料の原子の内殻電子を励起させて、その原子特定のエネルギーを損失した状態ででてくる電子。コア・ロス電子を測定するこ

とにより、元素の種類、状態密度、原子間距離などの情報が得られる。


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