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奈米定位與量測報告 原子力顯微鏡（ AFM ）

奈米定位與量測報告 原子力顯微鏡（ AFM ）. 日 期： 2 0 1 2 .0 1 .0 3 授 課 老 師 ：朱 志 良 博士 學 生：謝 竹 富 學 號： MA01A103. 就像用手指頭觸摸點字一般，當受過訓練的手指滑過一整排的點字時就能讀取其中的意義。 AFM 的探針代替了手指，精密的移動裝置代替了手指的移動過程。. AFM 基本構想. AFM 基本的組成. AFM 之主要物理原理. (1) 當兩物體非常靠近時，吸引力促使兩者相吸。 (2) 兩者接觸時，則會有排斥力產生。

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奈米定位與量測報告 原子力顯微鏡（ AFM ）

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Presentation Transcript

  1. 奈米定位與量測報告原子力顯微鏡（AFM） 日 期：2012.0 1.03 授 課 老 師 ：朱 志 良 博士 學 生：謝 竹 富 學 號：MA01A103

  2. 就像用手指頭觸摸點字一般，當受過訓練的手指滑過一整排的點字時就能讀取其中的意義。AFM 的探針代替了手指，精密的移動裝置代替了手指的移動過程。 AFM 基本構想 AFM 基本的組成

  3. AFM之主要物理原理 (1)當兩物體非常靠近時，吸引力促使兩者相吸。 (2)兩者接觸時，則會有排斥力產生。 (3)原子力為吸引力與排斥力的總合。 AFM的探針能感測原子力變化。 AFM-定力模式 AFM-定高度模式

  4. 接觸式原理： 1.探針直接接觸試片表 面。 2.探針與試片表面間的 作用力是原子間排斥 力。 • 缺點： 1.易使試片表面受到傷 害，且會損害試片。 2.探針易遭污染、折損， 影像失真度較高。 • 非接觸式原理： 1.探針與試片表面維持一定 的距離。 2.探針與試片表面的主要作 用力為長吸引力—凡得瓦 爾力。 • 缺點： 1.須使用調變技術來增強訊 號雜訊比。 2.探針與試片表面距離較遠， 作用力微弱，其影像解析 度較差。 • 原理： 1.探針以高頻在z方向振動，輕敲試片表面。 2.每一振動週期中，探針和試片表面接觸一次。 • 優點：可避免探針在掃描過程中，與試片表面的異物吸附層所黏附。 • 缺點：因高頻敲擊影響，對很硬的試片而言，探針針尖可能受損，對很軟的試片，試片很可能會遭到破壞。 AFM的種類

  5. 五、參考文獻 • http://eng.sju.edu.tw/tlc980219/20090409_%E5%A5%88%E7%B1%B3%E6%93%8D%E6%8E%A7.pdf • http://web1.knvs.tp.edu.tw/AFM/ch5.htm • http://140.110.18.12:38080/k12_mn_admin/UserFiles/File/user%20define/96review/AFM_SEM/4.pdf • http://proj3.sinica.edu.tw/~chem/servxx6/files/paper_10929_1237958643.pdf • http://www.tlrcct.yuntech.edu.tw/ctlr_web/resource/file_download.ashx?gId=c707c5be-d1a4-49e7-832b-02125eb40018&ds=3 • 原子力顯微鏡原理簡介，曹勝益，三朋儀器股份有限公司 • 林鶴南，李龍正和劉克迅，“原子力顯微術及其在半導體研究上的應用”，科儀新知，第17 卷，第3 期，1995，第29-35 頁 • www.me.tnu.edu.tw/~me010/thdoc/962/SPM-1.pdf

  6. Thank you for your attention

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