Slide1 l.jpg
This presentation is the property of its rightful owner.
Sponsored Links
1 / 6

Е.Н.Пятышев PowerPoint PPT Presentation


  • 139 Views
  • Uploaded on
  • Presentation posted in: General

Лаборатория. Санкт. -. Петербургский Государственный . Политехнический Университет. Нано- и Микросистемной техники. Микросистемная техника « Введение в MЭMС ». Е.Н.Пятышев. М.С.Лурье. Ю.Д.Акульшин. Санкт-Петербург СПбГПУ. www.mems.ru. Объект управления. Микроэлектроника.

Download Presentation

Е.Н.Пятышев

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Presentation Transcript


Лаборатория

Санкт

-

Петербургский Государственный

Политехнический Университет

Нано- и Микросистемной техники

Микросистемная техника

« Введение в MЭMС».

Е.Н.Пятышев

М.С.Лурье

Ю.Д.Акульшин

Санкт-Петербург СПбГПУ

www.mems.ru


Объект

управления

Микроэлектроника

Активаторы

Исполнительные

устройства

Решающее устройство

ЭВМ

Контролер

Датчики

Сенсоры

Микротехнологии


Микротехнологии

Микросистемная техника

Параллельное (“групповое”) изготовление большего количества одинаковых устройств

Совместное изготовление механических, электрических и др. элементов

Однотипное и одновременное создание

сложных комплексных структур

Усложнение геометрической конфигурации не является ограничением и не ведет к удорожанию устройства


Микроэлектроника

Микротехнологии

Микросистемная

техника

Низкая стоимость единичного изделия

Снижение сроков разработки и стоимости производства

Групповые технологии:

Параллельное изготовление

множества однотипных изделий

Повышение качества при снижении цены


Микроэлектромеханические

системы

Микромашины

Терминология

MST

Микросистемная техника

ЕВРОПА

MEMS

США

Micromachines

Япония

Микротехнологии

Нанотехнологии


Волос

Атом

Человек

Вирус

Бактерия

МЭМС

Мезо

Нанотехнологии

Микросистемы

Макросистемы

Масштабы и шкалы


  • Login