Slide1 l.jpg
This presentation is the property of its rightful owner.
Sponsored Links
1 / 6

Е.Н.Пятышев PowerPoint PPT Presentation


  • 134 Views
  • Uploaded on
  • Presentation posted in: General

Лаборатория. Санкт. -. Петербургский Государственный . Политехнический Университет. Нано- и Микросистемной техники. Микросистемная техника « Введение в MЭMС ». Е.Н.Пятышев. М.С.Лурье. Ю.Д.Акульшин. Санкт-Петербург СПбГПУ. www.mems.ru. Объект управления. Микроэлектроника.

Download Presentation

Е.Н.Пятышев

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Presentation Transcript


Slide1 l.jpg

Лаборатория

Санкт

-

Петербургский Государственный

Политехнический Университет

Нано- и Микросистемной техники

Микросистемная техника

« Введение в MЭMС».

Е.Н.Пятышев

М.С.Лурье

Ю.Д.Акульшин

Санкт-Петербург СПбГПУ

www.mems.ru


Slide2 l.jpg

Объект

управления

Микроэлектроника

Активаторы

Исполнительные

устройства

Решающее устройство

ЭВМ

Контролер

Датчики

Сенсоры

Микротехнологии


Slide3 l.jpg

Микротехнологии

Микросистемная техника

Параллельное (“групповое”) изготовление большего количества одинаковых устройств

Совместное изготовление механических, электрических и др. элементов

Однотипное и одновременное создание

сложных комплексных структур

Усложнение геометрической конфигурации не является ограничением и не ведет к удорожанию устройства


Slide4 l.jpg

Микроэлектроника

Микротехнологии

Микросистемная

техника

Низкая стоимость единичного изделия

Снижение сроков разработки и стоимости производства

Групповые технологии:

Параллельное изготовление

множества однотипных изделий

Повышение качества при снижении цены


Slide5 l.jpg

Микроэлектромеханические

системы

Микромашины

Терминология

MST

Микросистемная техника

ЕВРОПА

MEMS

США

Micromachines

Япония

Микротехнологии

Нанотехнологии


Slide6 l.jpg

Волос

Атом

Человек

Вирус

Бактерия

МЭМС

Мезо

Нанотехнологии

Микросистемы

Макросистемы

Масштабы и шкалы


  • Login