slide1
Download
Skip this Video
Download Presentation
Е.Н.Пятышев

Loading in 2 Seconds...

play fullscreen
1 / 6

MM . - PowerPoint PPT Presentation


  • 227 Views
  • Uploaded on

Лаборатория. Санкт. -. Петербургский Государственный . Политехнический Университет. Нано- и Микросистемной техники. Микросистемная техника « Введение в MЭMС ». Е.Н.Пятышев. М.С.Лурье. Ю.Д.Акульшин. Санкт-Петербург СПбГПУ. www.mems.ru. Объект управления. Микроэлектроника.

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about ' MM .' - lin


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript
slide1

Лаборатория

Санкт

-

Петербургский Государственный

Политехнический Университет

Нано- и Микросистемной техники

Микросистемная техника

« Введение в MЭMС».

Е.Н.Пятышев

М.С.Лурье

Ю.Д.Акульшин

Санкт-Петербург СПбГПУ

www.mems.ru

slide2

Объект

управления

Микроэлектроника

Активаторы

Исполнительные

устройства

Решающее устройство

ЭВМ

Контролер

Датчики

Сенсоры

Микротехнологии

slide3

Микротехнологии

Микросистемная техника

Параллельное (“групповое”) изготовление большего количества одинаковых устройств

Совместное изготовление механических, электрических и др. элементов

Однотипное и одновременное создание

сложных комплексных структур

Усложнение геометрической конфигурации не является ограничением и не ведет к удорожанию устройства

slide4

Микроэлектроника

Микротехнологии

Микросистемная

техника

Низкая стоимость единичного изделия

Снижение сроков разработки и стоимости производства

Групповые технологии:

Параллельное изготовление

множества однотипных изделий

Повышение качества при снижении цены

slide5

Микроэлектромеханические

системы

Микромашины

Терминология

MST

Микросистемная техника

ЕВРОПА

MEMS

США

Micromachines

Япония

Микротехнологии

Нанотехнологии

slide6

Волос

Атом

Человек

Вирус

Бактерия

МЭМС

Мезо

Нанотехнологии

Микросистемы

Макросистемы

Масштабы и шкалы

ad