Rafeindadrifin tfelling t kni vi ger nan str kt ra yfirbor um
This presentation is the property of its rightful owner.
Sponsored Links
1 / 19

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum PowerPoint PPT Presentation


  • 85 Views
  • Uploaded on
  • Presentation posted in: General

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum. Frímann Haukur Ómarsson Litrófsgreiningar sameinda og hvarfgangur efnahvarfa. Nanótækni. Eiginleikar efna á nanómetra (10 -9 m) skala Miklir möguleikar m.a. við gerð örrása og odda fyrir smugsjár

Download Presentation

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Presentation Transcript


Rafeindadrifin tfelling t kni vi ger nan str kt ra yfirbor um

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum

Frímann Haukur Ómarsson

Litrófsgreiningar sameinda og hvarfgangur efnahvarfa


Nan t kni

Nanótækni

Eiginleikar efna á nanómetra (10-9 m) skala

Miklir möguleikar m.a. við gerð örrása og odda fyrir smugsjár

Nanóstrúktúrar á yfirborðum


Rafeindadrifin tfelling

Rafeindadrifin útfelling

Electron Beam Induced Deposition (EBID)

Prentun nanóstrúktúra á yfirborð

Notast við háorkurafeindageisla

Önnur tækni er jónadrifin útfelling þar sem notast er við jónageisla.


Ebid ferli

EBID ferlið


S nishorn af ebid myndum

Sýnishorn af EBID-myndum


Forverasameindir

Forverasameindir

Eiginleikar sem leitað er eftir eru m.a. að sameindirnar:

séu rokgjarnar við stofuhita

brotni sértækt niður í ferlinu og gefi það niðurbrot sem áhugi er á

séu stöðugar

séu ódýrar

séu helst ekki baneitraðar


Algengar forverasameindir

Algengar forverasameindir

Mest rannsökuðu forvera-sameindirnar eru kolefnisforverar

Dæmi um aðrar algengar sameindir eru W(CO)6, Fe(CO)5, PtCpMe3 og WF6

Málminnihald útfellinga er mismunandi, t.d. um 10% fyrir W(CO)6 en 80-100% fyrir WF6


Fj ldi birtinga algengum forverum

Fjöldi birtinga á algengum forverum


Rafeindageislinn

Rafeindageislinn

Yfirleitt er notast við rafeindageisla frá rafeindasmásjá

Hægt að fókusera geislann niður í 1 nm í þvermál

Orkan er yfirleitt 1-30 keV

Mögulegt er að færa geislann til á yfirborðinu


Rafeindasm sj

Rafeindasmásjá


Yfirbor

Yfirborð

Forverasameindirnar ásogast á yfirborðið, mismikið ásog eftir yfirborðsefnum

Gefa frá sér dótturrafeindir og bakdreifðar rafeindir sem hafa lægri orku en rafeindirnar úr geislanum


Endurkasta ar rafeindir

Endurkastaðar rafeindir


Dreifing endurkasta ra rafeinda

Dreifing endurkastaðra rafeinda


Ni urbrot forverasameinda rafeindageislanum

Niðurbrot forverasameinda í rafeindageislanum

Ýmis ferli möguleg

Lágorkurafeindir, <20eV

Rjúfandi rafeindaálagning

Tvískautssundrun

Háorkurafeindir, >20eV

Electron impact


M guleg ni urbrotsferli

Möguleg niðurbrotsferli

Rjúfandi rafeindaálagning:

AB+e- → [AB-]* → A+B-

Tvískautssundrun

AB+e- → AB*+e-→ A++B-+e-

Electron impact

AB+e-→ AB++2e-→ A++B+2e-


Versni og orka endurkasta ra rafeinda

Þversnið og orka endurkastaðra rafeinda


Samantekt

Samantekt

Á tiltölulega einfaldan hátt er hægt að prenta yfirborð að vild

Upplausnin er alltaf verri en upplausn rafeindageislans

Skilningur manna á ferlinu ekki fullnægjandi


Heimildir

Heimildir

I. Utke, P. Hoffmann, J. Melnagilis. J. Vac. Sci. Technol. B 26(4), 2008

W.F. van Dorp, C. W. Hagen. J. Appl. Phys. 104, 081301, 2008


  • Login