Rafeindadrifin tfelling t kni vi ger nan str kt ra yfirbor um
This presentation is the property of its rightful owner.
Sponsored Links
1 / 19

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum PowerPoint PPT Presentation


  • 95 Views
  • Uploaded on
  • Presentation posted in: General

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum. Frímann Haukur Ómarsson Litrófsgreiningar sameinda og hvarfgangur efnahvarfa. Nanótækni. Eiginleikar efna á nanómetra (10 -9 m) skala Miklir möguleikar m.a. við gerð örrása og odda fyrir smugsjár

Download Presentation

Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Presentation Transcript


Rafeindadrifin útfelling - tækni við gerð nanóstrúktúra á yfirborðum

Frímann Haukur Ómarsson

Litrófsgreiningar sameinda og hvarfgangur efnahvarfa


Nanótækni

Eiginleikar efna á nanómetra (10-9 m) skala

Miklir möguleikar m.a. við gerð örrása og odda fyrir smugsjár

Nanóstrúktúrar á yfirborðum


Rafeindadrifin útfelling

Electron Beam Induced Deposition (EBID)

Prentun nanóstrúktúra á yfirborð

Notast við háorkurafeindageisla

Önnur tækni er jónadrifin útfelling þar sem notast er við jónageisla.


EBID ferlið


Sýnishorn af EBID-myndum


Forverasameindir

Eiginleikar sem leitað er eftir eru m.a. að sameindirnar:

séu rokgjarnar við stofuhita

brotni sértækt niður í ferlinu og gefi það niðurbrot sem áhugi er á

séu stöðugar

séu ódýrar

séu helst ekki baneitraðar


Algengar forverasameindir

Mest rannsökuðu forvera-sameindirnar eru kolefnisforverar

Dæmi um aðrar algengar sameindir eru W(CO)6, Fe(CO)5, PtCpMe3 og WF6

Málminnihald útfellinga er mismunandi, t.d. um 10% fyrir W(CO)6 en 80-100% fyrir WF6


Fjöldi birtinga á algengum forverum


Rafeindageislinn

Yfirleitt er notast við rafeindageisla frá rafeindasmásjá

Hægt að fókusera geislann niður í 1 nm í þvermál

Orkan er yfirleitt 1-30 keV

Mögulegt er að færa geislann til á yfirborðinu


Rafeindasmásjá


Yfirborð

Forverasameindirnar ásogast á yfirborðið, mismikið ásog eftir yfirborðsefnum

Gefa frá sér dótturrafeindir og bakdreifðar rafeindir sem hafa lægri orku en rafeindirnar úr geislanum


Endurkastaðar rafeindir


Dreifing endurkastaðra rafeinda


Niðurbrot forverasameinda í rafeindageislanum

Ýmis ferli möguleg

Lágorkurafeindir, <20eV

Rjúfandi rafeindaálagning

Tvískautssundrun

Háorkurafeindir, >20eV

Electron impact


Möguleg niðurbrotsferli

Rjúfandi rafeindaálagning:

AB+e- → [AB-]* → A+B-

Tvískautssundrun

AB+e- → AB*+e-→ A++B-+e-

Electron impact

AB+e-→ AB++2e-→ A++B+2e-


Þversnið og orka endurkastaðra rafeinda


Samantekt

Á tiltölulega einfaldan hátt er hægt að prenta yfirborð að vild

Upplausnin er alltaf verri en upplausn rafeindageislans

Skilningur manna á ferlinu ekki fullnægjandi


Heimildir

I. Utke, P. Hoffmann, J. Melnagilis. J. Vac. Sci. Technol. B 26(4), 2008

W.F. van Dorp, C. W. Hagen. J. Appl. Phys. 104, 081301, 2008


  • Login