slide1
Download
Skip this Video
Download Presentation
Зондовое анодное окисление

Loading in 2 Seconds...

play fullscreen
1 / 22

Зондовое анодное окисление - PowerPoint PPT Presentation


  • 322 Views
  • Uploaded on

Зондовое анодное окисление. Королёв Сергей. Содержание. Введение. Сканирующая зондовая микроскопия. Сканирующая зондовая литография. Зондовое анодное окисление. Импульсная методика. Первые успехи. Окисление металла. Модель Кабрера и Мотта. Зондовое анодное окисление кремния.

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about ' Зондовое анодное окисление' - hall


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript
slide2
Содержание
  • Введение.
    • Сканирующая зондовая микроскопия.
    • Сканирующая зондовая литография.
  • Зондовое анодное окисление.
    • Импульсная методика.
    • Первые успехи.
    • Окисление металла. Модель Кабрера и Мотта.
    • Зондовое анодное окисление кремния.
    • Встроенный пространственный заряд.
    • Модуляционная методика.
  • Заключение.
slide3
Сканирующий зондовый микроскоп

Исполнительный элемент

В. Л. Миронов, Основы сканирующей зондовой микроскопии (2004).

slide4

Сканирующий зондовый микроскоп

Сканирующий туннельный микроскоп

Атомно-силовой микроскоп

В. Л. Миронов, Основы сканирующей зондовой микроскопии (2004).

slide6
Импульсная методика зондового анодного окисления

J. A. Dagata, Science 270 (1995) 1625.

slide7
Зондовое анодное окисление. Что лучше: сканирующий туннельный микроскоп или атомно-силовой микроскоп?

Сканирующий туннельный микроскоп:

Один свободный параметр

Атомно-силовой микроскоп:

Два свободных параметра

Основные успехи зондового анодного окисления связаны с использованием атомно-силового микроскопа.

slide8
Металлизация иглы атомно-силового микроскопа

Ti

Si3N4

V

slide9
Первые успехи использования проводящего зонда атомно-силового микроскопа для окисления поверхности

Si

Полоски SiO2

Полоски SiO2служат маской при травлении Si в растворе KOH

Незащищённый Si протравился примерно 10 нм

E. S. Snowand P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1932 (1994).

slide10
«Заострение иглы»

Ширина полосок ~ 20 нм

Диаметр иглы ~ 80 нм

E. S. Snowand P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1932 (1994).

slide11
Сухое травление в плазме

SiO2

Si

Глубина травления ~ 30 нм.

E. S. Snow, W. H. Juan, S. W. Pang and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 66, 1729 (1995).

slide12
Окисление металла

Окисление – это соединение тел с кислородом.

O2

Скорость окисления определяется скоростью химической реакции.

Al

O2

Скорость окисления определяется скоростью прохождения реагентовчерез окисел.

Al2O3

Al

slide13
Модель Кабрера и Мотта

O-

O

Al2O3

Al

N. Cabrera and N. F. Mott, Rep. Prog. Phys. 12, 163 (1949).

slide14
Источник кислорода при зондовом анодном окислении

V

SiO2

Si

slide16
Скорость окисления

Скорость дрейфа ионов

N. Cabrera and N. F. Mott, Rep. Prog. Phys. 12, 163 (1949).

slide17
Скорость окисления кремния: эксперимент

n-Si(100)

Модель Кабрера и Мотта

P. Avouris, T. Hertel and R. Martel, Appl. Phys. Lett. 71, 285 (1997).

slide18
Сканирующая микроскопия напряжений Максвелла

Поверхностный потенциал

Ёмкость

J. A. Dagata, Nanotechnology 8, A3 (1997).

slide19
Наблюдение встроенного пространственного заряда

p,n-Si(100)

Создавались точечные окислы

Снимались карты топологии, потенциала,

ёмкости

J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh and H. Yokoyama, Appl. Phys. Lett. 73, 271 (1998).

slide20
Механизм образования встроенного пространственного заряда
slide21
Модуляционная методика зондового анодного окисления

F. Perez-Murano, K. Birkelund, K. Morimoto and J. A. Dagata, Appl. Phys. Lett. 75, 199 (1999).

ad