新竹科學工業園區
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新竹科學工業園區. 103 年度 園區廠商節水節能減碳輔導計畫. 節水輔導初評會議. OOOOOOOO 公司 簡報人: OOO 民國 103 年 6 月 OO 日. 1. 節水輔導時間表. 1. 節水輔導. 初評會議:廠商簡報廠內用水現況資料 (15 分鐘 ) ;委員提供節水輔導建議方向 (15 分鐘 ). 2. 廠商配合提供資料 - 節水輔導. 3. 節水輔導廠商提供資料. 工廠基本資料 工廠名稱 及 地址: 行業別 : 廠地面積: 平方公尺 員工人數: 人 開工日數: 日 節水推動小組組織架構及分工. 4. 節水輔導廠商提供資料.

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節水輔導初評會議

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Presentation Transcript


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新竹科學工業園區

103年度園區廠商節水節能減碳輔導計畫

節水輔導初評會議

OOOOOOOO公司

簡報人:OOO

民國103年6月OO日


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1

節水輔導時間表

1


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節水輔導

  • 初評會議:廠商簡報廠內用水現況資料 (15分鐘);委員提供節水輔導建議方向 (15分鐘)


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廠商配合提供資料-節水輔導

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節水輔導廠商提供資料

  • 工廠基本資料

    • 工廠名稱及地址:

    • 行業別:

    • 廠地面積:平方公尺

    • 員工人數:人 開工日數:日

  • 節水推動小組組織架構及分工

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節水輔導廠商提供資料

*請提供月平均數值

註1:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

用水現況

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節水輔導廠商提供資料

  • 單位產品用水量

註1:單位產品無法以片計量者 (如非屬面板、晶圓、LED及太陽能產業別之廠家),填寫時請加註產品單位;另外屬面板業者產品面積以投片面積(Array + Color Filter)為主,故單位產品用水量需涵蓋Array + Color Filter製程

註2:依據製程狀況填寫產品所含的平均層數,若無此估算方式者可無需填寫,並請標註

註3:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

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節水輔導廠商提供資料

  • 回收率現況註1

  • 冬季全廠排放率調查

註1:請各廠確認是否有各別環評標準

註2:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

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節水輔導廠商提供資料

用水平衡圖(含製程用水,R7版) - 請額外提供excel檔

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節水輔導廠商提供資料

用水平衡圖(光電業例外版) - 請額外提供excel檔

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節水輔導廠商提供資料

Raw water tank出水點水質

*導電度<250us/cm

*TOC < 2500ppb

*CI- < 1ppm

導電度<100us/cm

TOC < 2000ppb

導電度<20us/cm

TOC <500ppb

導電度<1 us/cm

TOC < 150ppb

Raw water tank

City water

RO

MMF

2B3T

TOC-UV

P.O.U

MB

MDG

Polisher loop

阻值 > 10MΩ-cm

TOC < 150ppb

SiO2< 50ppb

DO< 100ppb

TOC < 100ppb

P.O.U水質標準

*阻值 > 18MΩ-cm

*TOC < 100ppb

*DO < 100ppb

*Particles 0.1 μm <10pcs/ml

*SiO2 < 50ppb

依據各廠需求增列

範例

回收

回收

  • 請儘量提供水質以利判斷回收潛勢

純水系統流程及各出水點水質

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節水輔導廠商提供資料

  • 製程排水分流以及回收再利用情形

依據各廠需求增列

機台未使用Chemical之Rinse水(無機)

範例

無機廢水系統

34% 製程用水量TOC<2ppm

DR Inorg W/W (A)

(T-731A/B/C/D/E/F))

98%系統回收率

UV + AC

DR Inorg W/W (B)

(T-732A/B/C/D/E))

Reclaim

TOC < 0.25 mg/L

2%廢水

機台使用Chemical之Rinse水(有機)

D-SLA(T-701A/B)

D-Oxalic (T-710)

D-Surfacant(T-705)

D-Surfacant(T-706)

MBR

MBR

D-LCG26(T-741)

有機廢水系統

63% 製程用水量

TOC<120ppm

AO + MBR + RO + UV + AC

87.9%系統回收率

D-DEV1(T-711A/B)

D-N300(T-703A/B/C/D)

Reclaim

TOC < 0.35 mg/L

D-DEV2(T-739)

D-RinseDV(T-707A/B)

12%廢水

0.1 % 污泥

D-Rinse DV(T-708)

高濃度

有機廢水系統

D-IPA(T-702)

D-Detergent(T-704)

D-NMP(T-709)

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節水輔導廠商提供資料

依據各廠需求增列

低氟酸洗廢水

研磨廢水

範例

高氟酸洗廢水

純水系統濃排水

酸鹼性廢水

反沖洗廢水

儲存池一

儲存池二

CaCl2Ca(OH)2

CaCl2Ca(OH)2

中和池

中和池

NaOHPAC

NaOHPAC

快混池

快混池

Polymer

Polymer

污泥暫存池

慢混池

慢混池

污泥調理池

混凝沉澱

混凝沉澱

廢水流向

污泥脫水

添加藥劑

放流

氟化鈣污泥(委外清運)

污泥流向

廢水系統處理流程

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節水輔導廠商提供資料

說明:1.冷卻水塔補水量佔全廠用水量百分比計算式:P=冷卻水塔補水量/(全廠自來水取水量+全廠回收水量)×100%

2.冷卻水塔補水量包括冷卻水塔自來水及回收水之取水量

3.冷卻水塔補水量(M)=蒸發水量(V)+排放水量(B)

4.濃縮倍數CR=E2/E1

冷卻水系統

備註:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

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節水輔導廠商提供資料

1.酸排scrubber:

(1)設計處理容量:CMM (2)實際操作容量:CMM

(3)蒸發量推估說明:

說明1:排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V)

說明2:L/S蒸發水量(V)多為學理推估值,若廠商無法推估,則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3),若有其他推估計算方式, 請於(3)說明

備註:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

廢氣洗滌塔

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節水輔導廠商提供資料

2.鹼排scrubber:

(1)設計處理容量:CMM (2)實際操作容量:CMM

(3)蒸發量推估說明:

說明1:排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V)

說明2:L/S蒸發水量(V)多為學理推估值,若廠商無法推估,則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3),若有其他推估計算方式, 請於(3)說明

備註:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

廢氣洗滌塔

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節水輔導廠商提供資料

3.其他scrubber:

(1)設計處理容量:CMM (2)實際操作容量:CMM

(3)蒸發量推估說明:

說明1:排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V)

說明2:L/S蒸發水量(V)多為學理推估值,若廠商無法推估,則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3),若有其他推估計算方式, 請於(3)說明

備註:請提供最近一月 (5月) 資訊,6月份資料請於現場技術輔導時提供

廢氣洗滌塔

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節水輔導廠商提供資料

製程排水回收處理範例 (另請提供回收水質標準)

製程排水

活性碳塔

回收水緩衝桶

陰離子塔

RO膜組

後端使用

陽離子塔

  • 現有節水措施

    • (1)水回收再利用

      • A.純水系統

      • B.製程排水

      • C.空調及公用系統

      • D.管末回收

      • E.各設備單元回收水質標準 (TOC、COD、EC以及其他關切水質項目)

    • (2)單元設備用水減量

    • (3)其它替代水源利用

    • (4)省水器材換裝

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節水輔導廠商提供資料

備註:第一次受輔導廠商免填

歷年接受輔導團隊節水建議措施落實之狀況

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節水輔導廠商提供資料

備註:依各廠實際節約用水情形填列

歷年執行節水措施或自行研發之特殊節水技術

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節水輔導廠商提供資料

特殊節水技術與佐證資料

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節水輔導廠商提供資料

  • 未來節水規劃

    • 降低單位產品用水量

    • 提升用水回收率

      • 增設水回收系統

      • 增設處理設備,提升用水循環次數

      • 排水逐級利用

    • 開發替代水源 (雨水貯留、OAC回收)

    • 換裝省水器材

    • 其它____

  • 希望輔導團隊提供哪方面節水技術服務?

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簡報結束

敬請指教


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